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直讀光譜儀的光柵制作
發(fā)布時(shí)間：2022-08-23 09:14:39 點(diǎn)擊：4739
直讀光譜儀中一個(gè)重要部件就是光柵，其是一種分光元器件，將復(fù)合光色散。使不同波長(zhǎng)的光色散或分光。
分光元器件有棱鏡和光柵二種，以棱鏡為色散元件做成的分光儀，有水晶、玻璃、螢石等多種分光儀。以光柵為色散元件的分光儀又有平面衍射光柵或凹面衍射光柵分光儀之分。由于光柵刻劃技術(shù)和復(fù)制技術(shù)進(jìn)一步的提高，光柵已廣泛應(yīng)用于光電直讀光譜儀中。
一般說(shuō)來(lái)，任何一種具有空間周期性的衍屏的光學(xué)元件都可以稱為光柵，如果在一塊鍍鋁的光學(xué)玻璃毛胚上刻劃一系列等寬，等距而平行的狹縫就是透射光柵。如在一塊鍍鋁的光學(xué)玻璃毛胚上刻出一系列剖面結(jié)構(gòu)象鋸齒形狀，等距而平行的刻線這就是一塊反射光柵。
直讀光譜儀的光柵作用
現(xiàn)代光柵是一系列刻劃在鋁膜上的平行性很好的劃痕的總和，為了加強(qiáng)鋁膜與玻璃板的結(jié)構(gòu)的結(jié)合力，在它們之間鍍一層鉻膜或鈦膜。在光學(xué)光譜區(qū)采用光柵刻劃密度為0.5-2400條/ 毫米。目前大量采用的600條/毫米，1200條/毫米，2400條/毫米。
為了保持劃痕間距d無(wú)變化，因此對(duì)衍射光柵的刻劃條件要求很嚴(yán)。經(jīng)驗(yàn)證明，對(duì)光柵刻劃室的溫度要求保持0.01-0.0313變化范圍，光柵刻劃?rùn)C(jī)工作臺(tái)的水平振動(dòng)不超過(guò)1-3微米，光柵刻劃室應(yīng)該清潔，要避免通風(fēng)帶來(lái)的灰塵，光柵刻劃室的相對(duì)濕度不應(yīng)超過(guò)60-70%。光柵毛胚大多應(yīng)有學(xué)玻璃和熔融石英研磨制成。
毛胚應(yīng)該加工得很好，其表面形狀和局部誤差要求甚嚴(yán)。任何表面誤差將使衍射光束的波前發(fā)生變形，從而影響成象質(zhì)量和強(qiáng)度分布。
為了提高真空紫外區(qū)反射率，鋁膜上還鍍上一層氟化鎂。鋁膜制造光柵的方法有機(jī)械刻劃，光電刻劃，復(fù)制方法和全息照相刻劃四種。
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